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深圳市心怡創(chuàng)科技有限公司
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日立SU-8010場(chǎng)發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場(chǎng)交付
點(diǎn)擊次數(shù):171 更新時(shí)間:2025-08-12

                                                     日立SU-8010場(chǎng)發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場(chǎng)交付


        在2025年8月北京芯片行業(yè)工廠內(nèi)部實(shí)驗(yàn)室成功從我公司購(gòu)買日立場(chǎng)發(fā)射電鏡SU-8010SEM+EDX  ,從現(xiàn)場(chǎng)交流技術(shù)和了解到客戶需求到簽訂合同交付


儀器現(xiàn)場(chǎng)只用了15個(gè)工作日時(shí)間,深圳心怡創(chuàng)科技效率的為客戶服務(wù)宗旨:以下是交付現(xiàn)場(chǎng):速度效率就是為客戶省錢。


儀器配置如下:(日立SU-8010SEM+牛津EDX+電腦+操作軟件+工作站)


裝機(jī)地點(diǎn):北京


客戶需求:芯片表面分析

日立SU-8010場(chǎng)發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場(chǎng)交付

在公司葉工的裝機(jī)現(xiàn)場(chǎng),儀器性能再次確認(rèn)和樣品的分析,得到客戶很好的反饋和專業(yè)的給與。感謝客戶的認(rèn)可。給出工程師的專業(yè)性得到很大的認(rèn)可。

儀器參數(shù):

二次電子分辨率1.0nm(加速電壓15kV、WD=4mm)
1.3nm(加速電壓1kV、WD=1.5mm)
加速電壓0.1~30kV
觀測(cè)倍率20~8000,000(底片輸出)
60~2,000,000(顯示器輸出)
樣品臺(tái)
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)3軸馬達(dá)
5軸(選配)
行程X0~50mm
Y0~50mm
Z360°
T-5~70°
R1.5~30mm
zui大裝載尺寸100mm(zui大)
150mm(選配)
探頭
標(biāo)配Lower高立體感圖像
Upper高分辨SE、BSE圖像
 
選配
STEM明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像
YAG 探頭BSE圖像
半導(dǎo)體探頭BSE圖像
EBIC電子束感生電流圖像
EDS元素分析
反污染措施
冷指標(biāo)配
物鏡光闌內(nèi)置自清潔功能
電子槍內(nèi)置加熱器
真空系統(tǒng)
離子泵3臺(tái)
分子泵1臺(tái)
機(jī)械泵1臺(tái)


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